電感耦合等離子體串聯質譜儀是一種專門用來測定超痕量元素和同位素比值的儀器。由等離子體發生器，霧化室，炬管，四極質譜儀和一個快速通道電子倍增管組成。電感耦合等離子體串聯質譜儀在市場當中的應用非常廣泛，比如說地質學中用于測定巖石、礦石、礦物、包裹體，地下水中微量、痕量和超痕量的金屬元素，某些鹵素元素、非金屬元素及元素的同位素比值。

　　電感耦合等離子體串聯質譜儀的工作原理是霧化器將溶液樣品送入等離子體光源，在高溫下汽化，解離出離子化氣體，通過銅或鎳取樣錐收集的離子，在低真空約133.322帕壓力下形成分子束，再通過1～2毫米直徑的截取板進入四極質譜分析器，經濾質器質量分離后，到達離子探測器，根據探測器的計數與濃度的比例關系,可測出元素的含量或同位素比值。對于電感耦合等離子體串聯質譜儀來說，該設備的優點是具有很低的檢出限(達ng/ml或更低)，基體效應小,譜線簡單，能同時測定許多元素，動態線性范圍寬及能快速測定同位素比值。

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