電感耦合等離子體質譜儀的使用，對于很多的實驗來說都具有著非常重要的影響因素，只有對電感耦合等離子體質譜儀的了解足夠，那么在使用的時候才會發揮出本身設備的更大作用。

　　關于電感耦合等離子體質譜儀，它是一種專門用來測定超痕量元素和同位素比值的儀器。其主要的構成是由等離子體發生器，霧化室，炬管，四極質譜儀和一個快速通道電子倍增管(稱為離子探測器或收集器)組成。

　　對于電感耦合等離子體質譜儀來說，它的工作原理主要是：霧化器將溶液樣品送入等離子體光源，在高溫下汽化,解離出離子化氣體,通過銅或鎳取樣錐收集的離子,在低真空133.322帕壓力下形成分子束，再通過1～2毫米直徑的截取板進入四極質譜分析器，經濾質器質量分離后，到達離子探測器，根據探測器的計數與濃度的比例關系，可測出元素的含量或同位素比值。

　　使用電感耦合等離子體質譜儀的優勢非常明顯，它具有很低的檢出限(達ng/ml或更低)，基體效應小，譜線簡單，能同時測定許多元素，動態線性范圍寬及能快速測定同位素比值。地質學中用于測定巖石、礦石、礦物、包裹體，地下水中微量、痕量和超痕量的金屬元素，某些鹵素元素、非金屬元素及元素的同位素比值。

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